分機：42674
位置：
參與教授：張廖貴術
參考連結：http://www2.ess.nthu.edu.tw/~lkschang

矽半導體元件製程組、元件可靠性量測組、先進元件模擬組，FLASH記憶體開發組

半導體特性參數量測分析儀(HP 4156B、HP 4145B)、方波產生器（HP 8110A）、任意波形產生器(Agilent 33250A)、 低漏電流開關控制器(Agilent E5250A)、以及整套完整的C-V量測檢測系統（Keithley C-V Analyzer）6台專用個人電腦、ICS自動化量測軟體、Sun Bland 1500工作站兩台，Medici、TSUPREM-4等元件模擬軟體...等。 為現今國內首屈一指的半導體實驗室。